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エスクラフト社製プラズマ処理装置です。 バッチ式アッシャー、枚葉式処理機及び プラズマクリーニング等の装置になります。 |
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NADA Technologies社製ウエハ移載機（ソーター）です。 2カセット、4カセット及びSMIF対応、300mm対応等 のウエハ移載機になります。 |
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NADA Technologies社製300mmEFEMです。 FOUP、FOSB及び200mm等に対応しています。 |
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ホロニクス・インターナショナルによる検査機です。 残留フォトレジストやフィルム剥がれ等の検査に最適です。 |
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製品情報（新規装置）
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