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6インチウエハ以下サイズ用 |
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8インチウエハサイズ用 50枚バッチ式プラズマアッシング装置 （アッシング/クリーニング処理） |
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8インチウエハ以下サイズ用 枚葉式プラズマ処理機 （エッチング/クリーニング処理） |
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8インチウエハ以下サイズ用 枚葉式プラズマ処理機 （エッチング/クリーニング処理） |
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多目的枚葉式プラズマ処理ユニット 搬送ユニットとプロセスユニットが分離 |
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小型プラズマクリーナー マニュアル搬送方式 |
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実装基板等用 バッチ式プラズマクリーナー |
Inc.
Liberty
プラズマ処理機
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